半導体工場向け薬液の供給装置事業案内

半導体工場向け薬液の供給装置

薬液装置

半導体工場向けなどの薬液のさまざまな供給装置を制作しております。

薬液移設工事

  • カップリングブース
  • バッファーユニット
  • 移送・希釈ユニット

電解液調合装置

  • ポンプボックス
  • バルブ/電磁弁ボックス他

薬液ＣＲ増床装置

  • 供給装置、タンク装置
  • VMB/分岐ボックス

薬液増設工事

  • VMB